离子电子束共聚焦场发射扫描电子显微镜--飞行时间二次离子质谱联用系统，是将气体沉积装置、纳米操纵仪、探测器及可控样品台集成的显微镜系统。可以实现微区成像和成分分析，分辨率高达0.9 nm。高分辨成像的同时可对样品进行微纳加工处理，精细加工分辨率<2.5 nm。
技术参数：
1.微区成像分辨率≤0.9 nm
2.离子枪为Ga离子源，加工分辨率最高≤2.5 nm
3.飞行时间二次离子质谱：
4.质量数范围≥2500；空间分辨率横向≤40 nm，纵向≤3 nm
5.能谱仪：元素分析范围B5～Cf98
6.电子背散射衍射仪：标定速度≥400 pps；取向精度≥0.05度
7.可以实现气敏样品的真空无损转移
